本文濺射薄膜壓力傳感器及變送器原理介紹資料由優(yōu)質(zhì)變送器生產(chǎn)報(bào)價(jià)廠家為您提供。
濺射壓力傳感器和變送器原理介紹1。自1993年我公司生產(chǎn)的濺射壓力傳感器在國(guó)內(nèi)上市以來。濺射壓力傳感器和發(fā)射器發(fā)展迅速。在壓力測(cè)控領(lǐng)域,它已經(jīng)成為中高壓測(cè)量的主力軍。目前,我公司采用濺射薄膜壓敏元件生產(chǎn)的各種大中型壓力傳感器變送器已廣泛應(yīng)用于油井高壓高溫測(cè)量、柴油機(jī)共軌壓力測(cè)量、水利、電力、機(jī)械制造、冶金能源等領(lǐng)域。第二,濺射壓敏元件的基本原理是在10級(jí)超凈室中,通過微電子制造工藝。也就是說,在高真空度下,絕緣材料和電阻材料通過使用磁控制技術(shù)以分子形式沉積在彈性不銹鋼隔膜上,以形成與彈性不銹鋼隔膜集成的分子結(jié)合的絕緣膜和電阻材料膜。經(jīng)過光刻、電阻調(diào)整、溫度補(bǔ)償?shù)裙ば?,在彈性不銹鋼膜片表面形成牢固穩(wěn)定的惠斯頓電橋。這座橋是儀表和傳感器等測(cè)量設(shè)備中的基本環(huán)節(jié)。當(dāng)被測(cè)介質(zhì)壓力作用在彈性不銹鋼膜片上時(shí),另一側(cè)的惠斯頓電橋產(chǎn)生一個(gè)與壓力成正比的電輸出信號(hào)。這個(gè)信號(hào)被放大和調(diào)整。通過適當(dāng)?shù)慕Y(jié)構(gòu),它成為一個(gè)壓力傳感器,并應(yīng)用于各種領(lǐng)域。三、目前市場(chǎng)上常見的壓力傳感器的特點(diǎn)是擴(kuò)散硅、差壓電容、陶瓷壓阻、金屬應(yīng)變片粘貼等品種。濺射薄膜壓力傳感器是近年來剛剛進(jìn)入市場(chǎng)的一顆新星。它的一個(gè)突出特點(diǎn)是不受溫度的影響。當(dāng)溫度變化100℃時(shí),零點(diǎn)漂移僅為0.5%。其溫度性能遠(yuǎn)遠(yuǎn)優(yōu)于擴(kuò)散硅壓力傳感器。由于濺射惠斯通電橋和彈性不銹鋼膜片匹配良好且集成在一起,因此沒有粘合劑。因此,它顯示出比粘貼式應(yīng)變計(jì)傳感器更高的長(zhǎng)期穩(wěn)定性和可靠性。壓敏元件材料為17-4PH彈性不銹鋼,與之焊接的壓力接頭為316不銹鋼或1Cr18Ni9Ti不銹鋼,可與一般腐蝕介質(zhì)直接接觸。因此,可用于腐蝕性介質(zhì)的壓力測(cè)量和控制,應(yīng)用范圍廣。彈性不銹鋼膜片是通過機(jī)械加工、研磨等工藝制成的。在選擇敏感元件的有效區(qū)域之后,也確定其壓力范圍。目前,為了滿足批量生產(chǎn)的需要,我公司只引進(jìn)了一種外徑為φ7的隔膜。這限制了它在低壓和小壓力范圍內(nèi)的應(yīng)用。其壓力測(cè)量范圍為0-0.7兆帕至0-220兆帕。因此,該φ7濺射壓力傳感器更適用于大中型壓力的測(cè)控工程。將壓力敏感元件和壓力接頭焊接在一起是一個(gè)關(guān)鍵過程。在英國(guó)的自動(dòng)化生產(chǎn)線上,焊接采用大功率激光焊機(jī),焊接深度可達(dá)2.2毫米。我公司采用電子束焊接技術(shù)進(jìn)行焊接。根據(jù)多年的傳感器焊接經(jīng)驗(yàn),我們根據(jù)不同的測(cè)量范圍和結(jié)構(gòu)條件選擇不同的焊接工藝參數(shù)。確保沒有焊接應(yīng)力。實(shí)踐證明,我們的焊接質(zhì)量和焊后傳感器穩(wěn)定性完全滿足傳感器技術(shù)參數(shù)的要求。產(chǎn)品經(jīng)過各種工藝處理后,傳感器的穩(wěn)定性和可靠性進(jìn)一步提高。我公司的濺射壓力傳感器變送器在結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)上采取了有效措施,使產(chǎn)品具有更大的抗沖擊性能。我們自己設(shè)計(jì)的電子電路使產(chǎn)品具有更寬的電壓輸入范圍。采用散熱結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),使產(chǎn)品具有更好的耐高溫性能;生產(chǎn)過程中添加的特殊處理工藝使產(chǎn)品具有更好的長(zhǎng)期穩(wěn)定性。Iv .性能指標(biāo)壓敏元件和傳感器:范圍(巴)7 10 16 20 35 70 100 160 250 400 700 1000 1600 1800 2200靈敏度mv/v 1.27 1.21 1.24 1.30 1.67 1.81 2.26 1.98 2.19 2.13 2.26 1.33 1.40 1.08 0.005% FS/℃靈敏度溫度漂移變送器技術(shù)參數(shù):量程:7-2200巴電源電壓:12-36V輸出信號(hào):4-20mA允許過壓:150%FS精度:0.25%,0.5%工作溫度:-40-80℃穩(wěn)定性:< 0.1%FS/年溫漂:< 0.01%FS℃防護(hù)等級(jí):IP67總之,我公司濺射壓力傳感器變送器采用先進(jìn)合理的焊接技術(shù)和加工工藝。根據(jù)各種安裝條件,自行設(shè)計(jì)電子調(diào)節(jié)電路和靈活的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)。這使得我們的濺射壓力傳感器變送器更適合我國(guó)的具體使用條件。使它具有更強(qiáng)的生命力。隨著工業(yè)自動(dòng)化測(cè)控技術(shù)的快速發(fā)展,濺射壓力傳感器變送器的應(yīng)用將越來越廣泛。
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